中国生态环境网 > 互联网 > 国内苏大维格公布最新 3D 直写光刻技术:实现光刻胶 3D 形貌可控制备> 正文

国内苏大维格公布最新 3D 直写光刻技术:实现光刻胶 3D 形貌可控制备

来源:中国生态环境网

IT之家10月12日消息 近期,国内苏大维格厂商公布了3D直写光刻技术进展,在半导体、光电子、新材料创新方面更进一步。

光刻是当前半导体、平板显示、MEMS、光电子等行业的关键工艺环节。光刻技术是指在短波长光照作用下,以光刻胶(光致抗蚀剂、photoresist)为介质,将微纳图形制备到基片上的技术。以半导体工艺为例,半导体器件由多种专用材料经过光刻、离子刻蚀、抛光等复杂微纳加工流程而完成。光刻设备是半导体工艺中最核心的装备,在掩模版制备、芯片制造和封装环节都使用了光刻技术。

▲光刻在半导体制程中的作用示意图

IT之家获悉,光刻技术类型分为直写光刻和投影光刻两个大类。其中直写光刻是器件中微纳结构源头制备的关键环节,实现将计算机设计数据制备到特定基板上,形成高精度微纳结构的图形布局。

直写光刻的概念:直写光刻系统在英文中被称为 Pattern Generator,是微纳图形生成的手段,将计算机设计的 GDSII、DXF 等图形文件制作成实物版图。

用传统打印与复印的区别来打个比方:直写光刻是打印,将计算机中的文件打印出来。投影光刻是复印,实现器件制造的批量化。不过这个 “复印”过程需要多套图形的对准复印,要求极高的对准精度、分辨率和一致性。

光刻技术分类及作用

激光直写和电子束直写是产业中两项主要的直写技术。激光直写可以满足半导体 0.25 微米及以上节点掩模版制备,以及 0.25 微米以下部分掩模版制备。当前半导体掩模版总量的约 75% 由激光直写设备制备,其余掩模版由电子束直写设备完成。平板显示领域的大幅面掩模版,100% 由激光直写设备制备。

在投影光刻领域,半导体采用微缩投影光刻技术,代表性供应商是荷兰 ASML;平板显示采用大幅面投影光刻,代表性厂商是日本尼康。在诸多研发、MEMS、LED 等领域,掩模版接触 / 接近式光刻依然广泛使用。

光刻技术类型示意图

先进激光直写光刻技术

直写光刻与投影光刻技术是当前产业中分工明确的两类光刻技术,投影光刻具有更高的线宽分辨率、精度和生产效率的特点。虽然直写光刻还不能满足器件大规模制造的需求,但在电路板行业,激光直写替代传统曝光机是明确的趋势,实现无掩模光刻一直是产业追求的理想目标,可减少昂贵掩模版的支出,提升新品开发效率,满足小批量多样化生产需求。此外,直写光刻由于其数字化的属性,具有更高的灵活性和广泛适应性。可开发创新的曝光方式,作为数字化微纳加工的基础性技术,从而有望成为半导体、光电子相关产业中工艺迭代升级、新产品创新的关键性技术。

在具有衬底翘曲、基片变形的光刻应用领域,直写光刻的自适应调整能力,使之具有成品率高、一致性好的优点。如 FanOut、COF 等先进封装模式的发展,封装光刻技术需要具有更小的线宽、更大的幅面、更好的图形对准套刻适应能力。

在微纳光电子新兴领域,ALoT 的发展需要大量光电传感器件的创新研发。3D 光刻与微纳制造是光电子产品创新的基石性技术,具有众多的产业应用价值,如 3D 感知、增强现实显示、光传感器件(如 TOF)、超薄成像、立体显示、新型光学膜等。微纳光子器件逐步在智能手机、增强现实 AR、车载领域应用。与集成电路图形不同,微纳光子传感器件要求更高的位置排列精度及纵向面型精度、结构形貌具有密集连续曲面形貌的特点。因此,新型 3D 直写光刻技术,实现曝光写入剂量与位置形貌精确匹配,是制备新型光电子传感器件级微纳结构形貌的创新技术路径。

3D 直写光刻技术进展

苏大维格通过产学研合作,一直致力于推进 3D 直写光刻技术开发与应用,解决了多项行业挑战:

大面积微纳结构形貌的数字设计,海量数据处理与先进算法,可达百 Tb 量级数据量

海量数据数据压缩传输、高速率光电转换技术

数字光场形成三维形貌的曝光模式与机理,3D 临近效应校正技术

微纳结构形貌精确光刻工艺和运行模式

大型运动平台与光机系统的制造工艺、纳米精度控制技术

当前已经取得了 3D 光刻工艺突破,实现了光刻胶 3D 形貌可控制备。SEM 结果举例如下:

芯片光掩模

超薄菲涅尔成像透镜

微透镜阵列

涡旋结构

ToF 匀光器件

结构光 DOE

电子纸微杯

减阻结构

微流控

MEMS

微棱锥

立体成像结构

热门文章

  • 网络文艺是现实生活的敏锐"探测器"
    网络文艺是现实生活的敏锐"探测器"

    网络文艺是现实生活的敏锐"探测器"

    网络文艺是现实生活的敏锐“探测器” 网络文艺是新时代中国最具创新特征和时代特点的文艺形态之一。伴随互联网技术在经济社会发展各领域的泛在应用,网络文艺向社会精神文化领域加速渗透,正在迅猛成长为一种强大的社会塑造力量。近年来,相比于网络文艺实践的巨大体量和高速发展,网络文艺的理论探索

  • 天猫精灵助推家电企业智能化发展
    天猫精灵助推家电企业智能化发展

    天猫精灵助推家电企业智能化发展

    “我们以前在国外,都是卖给经销商,今年实际上整个公司经历了两次重大转型,一是出口转内销,二是从批发贸易转向了电商零售。”宁波格丽思智能家电事业部总经理刘泽众介绍说,疫情之前,来自欧洲市场的外贸订单占比高达90%以上,疫情发生以后,公司的出口额直接“腰斩”。疫情下外贸市场回暖的巨大不

  • “惠民保”成健康险领域“网红” 如何走得更远?
    “惠民保”成健康险领域“网红” 如何走得更远?

    “惠民保”成健康险领域“网红” 如何走得更远?

    “惠民保”如何走得更远?   本报记者潘福达  “惠民保”近期成为社会热议话题,自9月以来,山西省、福建省、安徽省、北京市等地陆续上线这类产品,“惠民保”成为健康险领域最火热的“网红”。  记者近日采访多名业内人士获悉,“惠民保”作为普惠型商业补充医疗保险定位值得肯定,但并非适合

  • 北京环球度假区与中国人寿达成战略合作 百亿级保险保
    北京环球度假区与中国人寿达成战略合作 百亿级保险保

    北京环球度假区与中国人寿达成战略合作 百亿级保险保

      10月26日,北京环球度假区与中国人寿宣布达成战略合作。双方将围绕北京环球度假区的保险保障服务、品牌营销以及社会公益活动等领域开展系列合作,携手为广大游客欢乐的游园体验增添一份保险保障。  根据协议,中国人寿将作为官方保险合作伙伴为北京环球度假区提供从建设期到运营阶段的多种保险产

  • 拼多多 iPhone 12/Pro 百亿补贴:首批 10 万张 300 元
    拼多多 iPhone 12/Pro 百亿补贴:首批 10 万张 300 元

    拼多多 iPhone 12/Pro 百亿补贴:首批 10 万张 300 元

    IT之家10月25日消息 苹果官方已经正式开售iPhone12、iPhone12Pro等机型。10月23日凌晨,在经历一个小插曲后,拼多多百亿补贴苹果专区重新上线,并且出现了iPhone12的信息,拼多多上线0.01元抵300元活动,有效期为1年。所有百亿补贴iPhone商品可用,含iPh

  • 三星申请 “Samsung Blade”商标,有望用于 Galaxy S2
    三星申请 “Samsung Blade”商标,有望用于 Galaxy S2

    三星申请 “Samsung Blade”商标,有望用于 Galaxy S2

    除了可折叠产品外,三星还为与普通智能手机有关的设计和实用程序申请专利和商标。上周,SamsungDisplay为各种设备(例如智能手机,数码相机,视频屏幕等)注册了“BladeBezel”商标。现在,三星电子已将类似的商标注册为“SamsungBlade”。与上周一样,本周的三星商标也被LetsGo

  • 快狗打车回应工信部通报:已将定位授权改为下单时再索
    快狗打车回应工信部通报:已将定位授权改为下单时再索

    快狗打车回应工信部通报:已将定位授权改为下单时再索

    10月28日消息,昨日工信部通报了2020年第五批侵害用户权益行为的 APP,悟空租车、易车、永安行、快狗打车等131款App在列。目前,快狗打车已针对工信部指出的问题做出说明:现综合考虑用户信息安全和用户服务体验,已将定位授权改为下单时候再索取定位权限。并于10月27日已提交相关部门进行

  • 微软更新苹果 iPad 版 Office 应用程序:支持鼠标和触
    微软更新苹果 iPad 版 Office 应用程序:支持鼠标和触

    微软更新苹果 iPad 版 Office 应用程序:支持鼠标和触

    IT之家10月27日消息 微软今天宣布,iPad上的Word、PowerPoint和Excel应用正在更新,新增iPadOS中的触控板和鼠标支持。光标将根据用户所指向的内容的更改不同的形状,以实现轻松的光标控制、流畅的导航和精确的调整。微软表示,对于那些在Mac或PC上使用过Office的

  • 三季度“最缺工”的100个职业排行发布
    三季度“最缺工”的100个职业排行发布

    三季度“最缺工”的100个职业排行发布

    三季度“最缺工”的100个职业排行发布   本报讯(记者李丹青)中国就业培训技术指导中心10月23日发布2020年第三季度全国招聘大于求职“最缺工”的100个职业排行。排行显示,生产制造及社会生产服务和生活服务领域,短缺职业较多。其中,营销员、保洁员、餐厅服务员、保安员、商品营业员、快递员、车

  • 长安福特召回福克斯车型 存在螺栓安全隐患
    长安福特召回福克斯车型 存在螺栓安全隐患

    长安福特召回福克斯车型 存在螺栓安全隐患

    人民网北京10月26日电(鄂智超)日前,长安福特汽车有限公司根据《缺陷汽车产品召回管理条例》和《缺陷汽车产品召回管理条例实施办法》的要求,向国家市场监督管理总局备案了召回计划。决定自2020年10月23日起,召回2018年10月18日至2019年12月23日期间生产的6辆福克斯汽车。本次召回范围内的